2.5 復(fù)雜微細(xì)結(jié)構(gòu)的激光加工與測(cè)量技術(shù)及裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

研究?jī)?nèi)容：研究微細(xì)激光光束聚焦機(jī)理及激光掃描方法；研究突破激光衍射極限的高深寬比納米結(jié)構(gòu)的激光加工技術(shù)；研究超細(xì)激光制造過程監(jiān)測(cè)和加工質(zhì)量控制方法；開發(fā)超細(xì)激光聚焦加工樣機(jī)及質(zhì)量檢測(cè)設(shè)備。

考核指標(biāo)：研制出微細(xì)激光聚焦加工樣機(jī)，加工范圍不小于100mm×10mm×100nm，實(shí)現(xiàn)深寬比>10:1三維納米結(jié)構(gòu)，以及特征尺度<10nm的二維納米結(jié)構(gòu)激光制造；開發(fā)出橫向分辨率< 100nm，軸向分辨率< 1nm并且測(cè)量范圍不小于100mm×10mm×100nm的超分辨三維光學(xué)測(cè)量裝置。實(shí)現(xiàn)1-2件微納器件制造應(yīng)用。

2.6 激光高性能連接/超精密焊接裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

研究?jī)?nèi)容：面向國(guó)家重大需求，研究?jī)蓚�(gè)方面內(nèi)容：（1）研究納米材料/結(jié)構(gòu)的激光制造并用于低溫連接高溫服役電子器件的連接技術(shù)；研究復(fù)雜微納尺度操作與激光光束協(xié)同控制、同質(zhì)/異質(zhì)材料可控納米連接技術(shù)與裝備。（2）研究光電器件超精密激光焊接技術(shù)；突破位置精確搜索、亞微米精度運(yùn)動(dòng)控制、激光束精確整形傳輸、焊點(diǎn)微位移控制等關(guān)鍵技術(shù)；研制光電器件的超精密激光焊接裝備。

考核指標(biāo)：（1）研發(fā)激光納米連接裝備，精度優(yōu)于40nm；實(shí)現(xiàn)低溫連接(<250℃)高溫服役(>300℃)的微納功能器件連接制造，壽命加速實(shí)驗(yàn)滿足相關(guān)器件國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)；實(shí)現(xiàn)納米材料激光無(wú)損連接，且接頭強(qiáng)度超過母材的90%；應(yīng)用于2-3項(xiàng)新型微納功能器件。（2）研制不少于3類超精密激光焊接裝備，焊接精度優(yōu)于1μm，支撐光電器件精密焊接的重大應(yīng)用，如光通信激光器焊接、有機(jī)顯示屏密封、衛(wèi)星準(zhǔn)直器焊接等。

有關(guān)說(shuō)明：激光納米連接裝備、超精密激光焊接裝備可以分別申報(bào)。

2.7大型構(gòu)件的激光高效清洗裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

研究?jī)?nèi)容：研究激光對(duì)材料涂層、污物及微小顆粒等作用的物理機(jī)制及激光清洗方法；研究激光時(shí)間-空間-功率、熱變形等對(duì)制造性能影響的多元參數(shù)實(shí)時(shí)在線檢測(cè)與矯正技術(shù)；開發(fā)針對(duì)大型構(gòu)件高效激光清洗、復(fù)雜構(gòu)件選區(qū)清洗成套裝備技術(shù)。

考核指標(biāo)：面向航天、高鐵、海洋等領(lǐng)域的重大需求，研發(fā)多元參數(shù)矯正系統(tǒng)（光斑尺寸與平均功率輸出精度誤差優(yōu)于1%）；研發(fā)不少于2類激光清洗裝備并實(shí)現(xiàn)典型工程應(yīng)用驗(yàn)證：（1）大型構(gòu)件涂層清洗效率大于40m2/h，清洗厚度精度優(yōu)于10μm；（2）選區(qū)清洗定位精度優(yōu)于0.1mm，金屬構(gòu)件清洗質(zhì)量不低于Sa3級(jí)。

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